在上述正置明場(chǎng)模式中，光通過半透半反透鏡匯聚到明暗物鏡的中心。而在正置暗場(chǎng)中，光闌和暗場(chǎng)環(huán)將照明光束引導(dǎo)到明暗場(chǎng)物鏡的邊緣。二者的不同在于照明光束入射的角度：

我們?cè)趯捯晥?chǎng)正置明場(chǎng)顯微成像系統(tǒng)中，引入了暗場(chǎng)照明光路，明場(chǎng)和暗場(chǎng)共用一個(gè)明暗場(chǎng)物鏡及寬視場(chǎng)顯微鏡筒，實(shí)現(xiàn)了明/暗場(chǎng)雙模切換的顯微觀察：

無需改變光路和更換物鏡，用戶只需操作光源ON/OFF即可切換明視場(chǎng)/暗視場(chǎng)兩種觀察模式。

落射式明場(chǎng)顯微觀察，多種照明波段可選；光圈可調(diào)，可按需擴(kuò)展為科勒照明，為寬視場(chǎng)顯微成像應(yīng)用提供均勻照度。

落射式暗場(chǎng)顯微觀察，深色背景提供了高對(duì)比度，適合顯示輪廓、邊緣、邊界和折射率漸變的應(yīng)用，比如檢測(cè)半導(dǎo)體晶圓上層結(jié)構(gòu)中的典型缺陷包括顆粒、殘留物、刮傷、晶體原生凹坑、裂紋等。

我們?cè)诠鈱W(xué)實(shí)驗(yàn)室配備了各種規(guī)格的光源模塊和成像鏡頭，力求實(shí)現(xiàn)功能模塊的快速搭建和配置優(yōu)化，協(xié)助用戶開展多種顯微成像配置的高效驗(yàn)證測(cè)試。

歡迎各領(lǐng)域的用戶攜帶檢測(cè)樣品到實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行成像驗(yàn)證。